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    Products 產品詳情
    產品名稱:

    花籃/片盒清洗機-CSE

    上市日期: 2016-12-05

    ?花籃/片盒清洗機-華林科納CSE

    ?花籃-片盒清洗機-CSE1.jpg

    完美適應當前所有型號的花籃和片盒、傳輸片盒、前端開口片盒 (Foup片盒)的清洗和干燥系統


    優點

    裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒—或不同晶圓尺寸的花籃和片盒,同時可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒(Foup片盒) 三種設備尺寸滿足客戶特殊需求

    > CleanStep I – 用于4組花籃和片盒 加載和清洗能力:每次4組花籃和片盒 清洗產能:每小時12組花籃和片盒

    > CleanStep II – 用于8組花籃和片盒 加載和清洗能力:每次8組花籃和片盒 清洗產能:每小時24組花籃和片盒

    > CleanStep III – 用于6組前端開口片盒(Foup) 加載和清洗能力:每次6組前端開口片盒(Foup片盒) 清洗產能:每小時18組前端開口片盒(Foup片盒)

    > 適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標準旋轉籠 (Cleanstep I/II)

    > 適用于所有片盒一次清洗過程

    > 或是同時4組花籃和片盒,或是12個花籃(Cleanstep I/II)

    > 簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進行切換 > 旋轉籠內的可旋轉載體方便加載或卸載花籃和片盒

    > 通過控制系統對自鎖裝置的檢測,達到安全加載片盒和花 籃,及其運行


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    特征和優點

    可應用不同化學品(稀釋劑)來清洗

    > 泵傳輸清洗液

    > 計量調整可通過軟件設置控制操作

    熱水噴淋裝置

    > 熱水一般由廠務供應 — 標準化

    > 或有一個體積約100升的熱水預備槽(循環泵和加熱棒用于熱水預備槽—選項)


    ?籠子

    > 帶有可變速旋轉的控制的高扭矩伺服電機(按照加載量和設備配置,最大旋轉速度200rpm,) > 旋轉的不銹鋼籠子

    > 會自動停止工作(運行過程中出現失衡狀態時)

    熱空氣干燥

    > 頂端吹下熱空氣

    > 采用根據設備待機和工藝運行模式的可調風量的風扇裝置

    > 不銹鋼架上裝有加熱器,可以溫度控制

    > 軟件監控溫度

    > 帶有反壓控制的高效過濾器


    輔助功能和操作控制

    > 觸摸屏安裝在前面—標準化

    > 也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進行控制—選項


    其他特征

    > 工藝腔室內LED燈光照明

    > 可安裝去靜電裝置和電阻率監測裝置——選項

    > 穩定、亞光不銹鋼籠子

    > 材料的外殼—可選擇符合FM4910標準

    > PP材料的工藝腔室—可選擇符合FM4910標準

    > 設備前面帶有滑動門—標準化為手動/可選擇自動

    > 設備前面的滑動門在做維護時可完全打開

    > 其他種類的花籃和片盒相適應的組件—選項


    圖形化的界面

    > 易于操作和控制

    > 10“觸摸屏PLC控制器

    > SECSII GEM接口—選項

    > 授權訪問的密碼保護

    > 可以編輯40多個菜單,每個菜單可有50步

    > 可變量數據輸入(時間、溫度、速度等)

    > 設備背面安裝第二個觸摸屏—選項


    更多的花籃和片盒清洗機設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.jeans-you.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。

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    1.概述

    1.1?設備概況:

    主要功能:本設備主要手動搬運方式,通過對片盒化學液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。

    1.1.1 設備名稱:花籃和片盒清洗機?????????????????????????????????????????????????????????????? 1.1.3?整機尺寸(參考):約1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);

    1.1.4?操作形式:手動

    1.2?設備組成

    該設備主要由清洗部分、抽風系統及電控部分組成??1.3?設備描述

    l 此裝置是一個動的處理設備

    l 設備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂盒等,操作方便;

    l 主體材料:德國進口10mmPP板,優質不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;

    l 臺面板為德國10mm PP板;

    l DIW管路及構件采用日本進口clean-PVC管材,需滿足18MW去離子水水質要求;

    l 采用國際標準生產加工,焊接組裝均在萬級凈化間內完成

    l 排風:位于機臺后上部

    l 工作照明:上方防酸照明

    l 安全考慮:

    1. 設有EMO(急停裝置)

    2.?強電弱點隔離

    3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面

    4. 設備排風口加負壓檢測表

    5. 設備三層防漏??盤傾斜??漏液報警??設備整體置于防漏托盤內

    二、設備結構及主要工藝概況

    2.2臺面布局:操作臺面高度為950mm,適合于身高為1550到1800mm人員操作。

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    2016 - 03 - 07
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